MEMS的研究现状及其进展

摘要：

本文从MEMS有关的材料、加工工艺、设计方法、仿真模拟、封装和可靠性等方面,阐释MEMS的研究现状,概论MEMS相关技术的发展趋势.

机标关键词：技术的发展趋势、设计方法、加工工艺、仿真模拟、可靠性、概论、封装、阐释、材料

分类号：TN43(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2008-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：57-61,21