12英寸硅片生产线的进展

摘要：

@@ 全球第一条12英寸硅片生产线於1997年在德国德累斯顿兴建,至今已有7年的历史,由此开始了硅片由8英寸向12英寸过渡的序幕.

机标关键词：英寸、硅片生产线、历史、过渡、德国

分类号：TN43(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2008-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：70-71