绿光波段60pm超窄带滤光片的研制

摘要：

波长为532 nm的绿色激光在大气层中有较强的穿透能力,可用于自由空间光通信和激光三维测绘,为了抑制背景光的干扰,需要半功率带宽小于100 pm的光谱滤波器.因此,设计并研制了基于光学干涉薄膜的超窄带滤光片.将五氧化二钽(Ta2O5)和二氧化硅(SiO2)分别作为高低折射率膜层材料,将熔石英作为基片,采用双离子束溅射沉积方法制备出所设计的光学薄膜.利用可调谐激光器和功率计测量滤光片的透射光谱,其半功率带宽为(60±2)pm,透过率达到62.6％.

关键词：光学薄膜;薄膜滤光片;皮米带宽;绿光波段;空间激光测绘

所属期刊栏目：15

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：上海市自然科学基金No.17ZR1434900

在线出版日期：2022-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：119-131