一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法

摘要：

本文提出了一种改良的检测方法用于实现对超大口径凸非球面反射镜进行高精度的面形检测.该方法利用计算机再现全息和照明透镜混合补偿,实现对超大口径凸非球面的高精度检测.首先,对该方法的基本原理进行了分析和研究;然后,以一块口径为800 mm的超大口径凸非球面为例,进行了子孔径规划和检测光路中相关光学元件的设计;最后,以中心子孔径为例,系统分析了该检测装置的敏感度.仿真实验结果表明:计算全息补偿器的设计残差均方根值小于0.0013 nm,该检测系统的综合检测精度可以优于6 nm RMS.结果表明该检测系统满足超大口径凸非球面反射镜高精度面形检测的要求.

关键词：面形检测、非球面、像差补偿、衍射光学元件

所属期刊栏目：12

分类号：TQ171.6;O435.2

资助基金：国家重点研发计划2016YFB0500100

在线出版日期：2019-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1147-1154