光束整形系统异形元件的研制

摘要：

为了实现非球柱面镜的高精度加工，解决这一领域面临的难题，对非球柱面镜的加工和检测方法进行了深入的研究。采用古典与现代制造技术相结合的方法，研制了用于光束整形的异形元件，该异形元件是由非球柱面镜和柱面镜组成。针对非球柱面镜面型难以控制的问题，给出了独特的抛光模设计。结果表明：经过轮廓仪检测面型精度为0.8487μm，达到了图纸精度，满足了光学元件的使用要求。

关键词：非球柱面镜、加工、检测、面形误差

分类号：TH706(仪器、仪表)

资助基金：广东省教育部产学研结合资助项目2010B090400048

在线出版日期：2014-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：469-475