真空条件下不同波长固体激光烧蚀单晶硅的实验研究

摘要：

通过倍频Nd∶YAG固体激光的基波得到波长分别为532、355和266 nm的激光，研究了单晶硅（ Si）对不同波长固体激光的吸收规律和3种不同波长激光在真空条件下烧蚀单晶Si的烧蚀特征。结果表明，单晶Si 对波长为100～370 nm的紫外激光具有很好的吸收效果；在其他条件相同时，532 nm波长激光烧蚀单晶Si所需最低单脉冲能量（ Ep ＝30μJ）是355和266 nm波长激光烧蚀单晶Si所需最低单脉冲能量（Ep ＝15μJ）的2倍；532、355和266 nm的激光烧蚀单晶Si的烧蚀阈值随着波长的变短而变小。

关键词：Nd∶YAG固体激光、激光波长、单晶硅、烧蚀阈值

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目 No．51205113；黑龙江省留学归国人员科学基金资助项目 No． LC2011C35；教育部留学回国人员科研启动基金项目；黑龙江科技学院引进人才资助项目2012-03

在线出版日期：2014-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：442-448