移动MES系统在半导体制造中的应用

宋欢金俊杰尤小龙

中电九天智能科技有限公司;

摘要：

研究移动MES系统在半导体制造中的应用,目的是通过移动MES系统与半导体制造实践结合,加快半导体制造业信息化步伐.文章阐述了移动MES系统介绍、半导体制造的特点及业务流程总结,科学制定半导体制造环节移动MES系统应用措施.研究结果表明,移动MES系统凭借多功能优势在半导体制造环节显现,能够提高半导体制造有效性,为移动MES系统与半导体制造实践结合提供理论指导.

关键词：移动MES系统、半导体制造、应用

分类号：F270.7;F426.63;TP391

在线出版日期：2022-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：92-93