南京大学化学化工学院教授王元元:与时间赛跑助力光刻胶国产化新发展

摘要：

人类社会对于“刻”“做标记”并不陌生.作为文明的标志,远古的人们在洞穴中刻出了生命的图腾.作为现代科学的象征,光刻技术作为半导体工业的“领头羊”,在半个世纪的进化历程中为整个产业的发展提供了最为有力的技术支撑.来自南京大学的王元元教授一直致力于通过引入新型的光学刻蚀技术,构建全无机纳晶器件,并在场效应传感器(FET)、量子点发光二极管(QD-LED)、二元衍射光栅(Binary Diffraction Grating)等方面取得了一系列重要的成果.

机标关键词：化学化工学院、光刻胶、大学化学、国产化、南京大学、新发展、学院教授

分类号：O6-4;G642.0;TQ577.35

在线出版日期：2020-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：16-17