显影工艺设备救货系统

摘要：

上位机以工控机为控制中心的显影工艺设备一旦出现工控机死机并蓝屏的情况,就会产生晶片加工中断的后果.如果显影液长时间残留在晶片表面就会导致显影过度和晶片报废.本系统利用欧姆龙PLC的DeviceNet主机与NC433脉冲方向控制模块,可实现在工控机死机的情况下进行控制系统切换.切换后由本系统对执行单元实施控制,进而解决死机导致的单元停机对晶片造成的不良影响,避免晶片报废.

关键词：显影机台、PLC、死机、显影过度

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2020-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：58-60