浅谈材料抛光技术

摘要：

随着光学和微电子学及其相关技术的发展,对所需材料的表面质量的要求越来越高.超光滑表面的加工方法有抛光和超精密机械加工等.超光滑表面加工的对象主要是晶体、陶瓷等硬脆性材料,主要应用于现代武器惯导仪表的精密陀螺的平面反射镜、激光核聚变反射镜、大规模集成电路的基片、计算机磁盘、磁头和蓝宝石红外探测器窗口的透镜等超光滑表面的加工.相比于超精密机械加工,抛光应用更为广泛.

关键词：材料抛光、表面粗糙度、浴法抛光、电化学-修磨抛光、离子束加工

分类号：TG580(金属切削加工及机床)

在线出版日期：2010-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：60-61