A novel MEMS-based focal plane array for infrared imaging

机标关键词：infrared imaging system、array、focal plane、micro electromechanical system、isolation structure、isolated structure、temperature rise、realization、technology、experiment、FPA、results、novel、image、human、basis、MEMS、SiN

所属期刊栏目：2

分类号：TN2;TP3

资助基金：the National Natural Science Foundation of ChinaGrant 60236010;the National Technology Research Development Program of China2005AA404210

在线出版日期：2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：83-87