ITO透明导电薄膜的研究进展

摘要：

介绍了ITO薄膜的基本特性和透明导电原理,综述了ITO薄膜主要的制备技术及其研究进展,并指出了不同制备方法的优缺点.还对ITO薄膜晶格常数畸变、载流子浓度上限和最佳掺杂量、红外反射率、光吸收边的移动等基础理论研究进展进行了归纳.今后,还需要在低温或室温ITO薄膜的制备、ITO薄膜的导电机理、纳米尺度ITO材料的特性等方面加强研究.

关键词：透明导电氧化物、ITO薄膜、制备技术

所属期刊栏目：27

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2012-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：10-16