AFM轻敲模式中微悬臂振动的研究

摘要：

针对原子力显微镜AFM(Atomic torce microscope)在轻敲工作模式下微悬臂在谐振频率附近振动的问题,依据振动学理论和仿真分析的方法,建立了微悬臂的振动模型,仿真出了微悬臂前几阶的振动模态.得到了在保证振幅不变的情况下微悬臂各参数与其自由端偏转角的关系,指出了轻敲模式下减小AFM测量误差的方法.

关键词：AFM、微悬臂、振动、仿真

所属期刊栏目：25

分类号：O3(力学)

在线出版日期：2006-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：183-185