微机电系统压膜阻尼特性分析

摘要：

微尺度下,压膜阻尼对微机电系统(MEMS)微结构功能特性有很大影响.从滑流效应、挤压效应和穿孔效应三个方面对平板间气膜阻尼进行理论分析,运用可压缩气膜的雷诺方程对由垂直运动产生压膜阻尼进行模型分析,详细介绍了线性Reynolds方程的多种近似解,建立了热流方程模拟的有限元分析模型,分别针对滑流、挤压和穿孔对气膜阻尼的影响进行了有限元模拟仿真及讨论,并与近似的理论结果进行对比,结果表明:滑流效应对压膜特性影响较大;增大孔径可以减小气膜阻尼和刚度系数,减小压膜阻尼对MEMS微结构的影响.

关键词：微机电系统、压膜阻尼、滑流、穿孔

所属期刊栏目：25

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金10325209

在线出版日期：2006-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：41-45