电容式硅微结构加速度计动态特性的研究

摘要：

为了克服传统的加速度计动态测试方法的不足,提出了一种借助于静电力来获得加速度计动态特性的方法,对这种方法进行了理论分析和试验研究,给出了利用该方法得到的加速度计频率特性曲线,并与在标准振动台上得到的结果进行了比较,结果表明其误差小于1.9%.

关键词：微加速度计、动态特性、静电法、振动台

所属期刊栏目：23

分类号：TH824+.4

在线出版日期：2003-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：220-222