印制板直接成像装置

摘要：

概述了以超高压汞灯为光源的印制板直接成像装置”Mercurex”.适用通用抗蚀剂的直接描画.

关键词：直接成像装置、超高压汞灯、通用抗蚀剂

分类号：TN41(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2007-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：55-58