面向CMUT声发射特性的驱动电路优化设计

摘要：

根据电容式微机械超声换能器(CMUT)的工作原理,设计了用于驱动CMUT发射超声波的电路.通过适当的串行匹配,消除了脉冲激励信号的过冲现象.在此基础上进一步探究了脉冲激励参数对CMUT声发射特性影响.结果表明,随着激励脉冲个数的增加,CMUT输出超声信号的有效带宽逐渐变窄,二次谐波逐渐增强;随着激励脉冲占空比的增加,CMUT的输出声压先增大后减小,二次谐波先减小后增大.该文研究结果为CMUT的测试与应用奠定了基础.

关键词：电容式微机械超声传感器;驱动电路;串行匹配;声发射特性

所属期刊栏目：41

分类号：TN791;TB552(基本电子电路)

资助基金：国家重大科研仪器研制项目;国家重点研发计划

在线出版日期：2022-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：168-172