快速吸附与脱附的声表面波H2S传感器

摘要：

本文主要研究了基于SnO2/CuO薄膜的声表面波(SAW)传感器(室温下,工作频率约为147.8 MHz)检测H2S气体的特性.以360YXLiTa03为基片制作声表面波器件,通过采用射频磁控溅射法在其表面淀积Sn02/Cu0的复合薄膜制作出H2S气体传感器.由场发射电子扫描电镜观察薄膜,薄膜连续均匀且表面分布大量微气孔,因而具有良好的吸附性.然后本文在85℃～205℃范围内对传感器的吸附和脱附速率、灵敏度及选择性等进行了实验研究.实验结果表明,所制备的传感器在较低温度下同时具备快速吸附和脱附特性,工作在190℃时气体吸附和脱附速率最快,检测20 ppm H2S的响应和恢复时间分别为30s,15s;工作在160℃时,传感器检测20 ppm H2S的灵敏度最高,工作频率变化约230 kHz,且对于低浓度2 ppm H2S,频率变化可达45 kHz.同时,传感器也表现出良好的重复性和选择性.

关键词：声表面波、SnO2/CuO、H2S、气体传感器

所属期刊栏目：30

分类号：TM6;TN7

资助基金：国家自然科学基金资助项目61071054

在线出版日期：2011-09-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：213-219