氮化铝薄膜的组成分析

摘要：

@@AlN是一种无机非铁性压电材料，具有宽的带隙、高的电阻率、高的抗击穿电压、高的声传播速率和低的传输损耗，在微电子器件中有着广泛的应用前景［1］. 由于AlN薄膜的声速在整个无机非铁性材料中最高，因而成为GHz级声表面波器件的首选材料［2］.

关键词：氮化铝薄膜、组成、X射线光电子能谱

所属期刊栏目：18

分类号：O653;TB43(分析化学)

资助基金：国家自然科学基金29741004;教育部高校骨干教师资助计划;山西省自然科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：233-235