基于低温积分球的中红外陷阱探测器技术

摘要：

针对中波红外辐射测量定标的需求,提出了将微型积分球与中红外探测器集成在低温环境中.验证比对了几种用于制作积分球内腔表面的材料样品,通过宽光谱反射率、特征光谱反射率、双向反射分布函数(bidirectional reflectance distribution function,BRDF),以及用激光共聚焦显微镜、扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)等进行微观表面形貌的测量,获得了适用于制作中红外积分球的内腔表面制作工艺.BRDF测试结果显示,制作的内腔表面接近朗伯反射表面.测试了积分球探测器样品的光谱与电学性能,经过表面粗糙化处理并蒸镀金属反射膜,样品的光谱波段适应性好,光强衰减比为 0.067 4,经计算,积分球内腔壁的反射率为 96.4%;同时,低温积分球的引入,使探测器芯片的噪声由3.5×10-12 A·Hz-1/2 降低至1.0×10-12 A·Hz-1/2.

关键词：积分球、漫反射、陷阱探测器、中红外探测器

所属期刊栏目：45

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金42330110

在线出版日期：2024-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：685-692