基于偏振衍射色散共焦的光学元件轴向间距测量

摘要：

光学元件轴向间距测量对精密光学系统的定位和装调具有重要意义.针对现有色散共焦测量系统中色散物镜结构复杂、色散范围小的问题,提出基于偏振衍射色散共焦的光学元件轴向间距测量方法,将传统折射共焦镜头几百毫米的轴向尺寸和复杂的装调需求简化为数毫米的单片镜,简化了系统结构.透镜间距和厚度测量实验表明,间距测量误差为10μm.

关键词：色散共焦;间距测量;偏振衍射;光学元件

所属期刊栏目：42

分类号：TN206;TH744(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;中国科学院战略性先导科技专项

在线出版日期：2021-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：698-702