DMD衍射效应及其产生的杂散光分析

摘要：

针对数字微镜器件(digital micromirror device,DMD)衍射效应对系统成像影响严重的问题,对DMD元件产生的杂散光进行研究.基于严格耦合波理论构建了DMD衍射模型,分析不同波段和入射角度对其衍射效率的影响,分析结果表明,在长波红外波段DMD衍射效应较明显,且随着入射角度增大,DMD衍射效应更为显著.分析投影系统中DMD的衍射杂光产生途径,通过改变系统的F数来控制入射角度,计算出DMD衍射效应产生的杂光能量占比,给出不同波长下,不同F数的光学系统杂光随衍射效应的变化曲线,即F数越大,DMD衍射效应对系统杂光影响越小.

关键词：数字微镜器件;衍射效应;严格耦合波理论;杂散光分析

所属期刊栏目：42

分类号：TN209(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划2016YFF0101902

在线出版日期：2021-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：630-635