采用椭偏法结合分光光度法研究极薄银的光学常数

摘要：

极薄银在滤光片、高反射镜等中有广泛的应用,其光学常数严重影响着膜系的特性.在室温条件下,采用电阻热蒸发技术分别在硅和玻璃基底上沉积5.3 nm～26 nm不同厚度的极薄银薄膜,用TalySurfCCI非接触式轮廓仪测量了薄膜的厚度,研究了不同厚度银薄膜的光学常数n和k.镀制厚度5.3 nm、7.9 nm、14.1 nm、26.0 nm的银薄膜,结果显示极薄银的光学常数与块状银光学常数不同,当膜厚小于14.1 nm时,折射率n在380 nm～600 nm随波长增加而增加,在600 nm～1 600 nm随波长增加缓慢减小至趋于稳定值2.6;消光系数k在380 nm～500 nm随着波长增加而增加,在500 nm～1 600 nm随波长增加而缓慢减小至趋于0不变;当膜厚大于14.1nm时,折射率随波长增加而增加,消光系数随波长近似呈线性增加.整体上,膜厚增加时折射率减小且趋于块状银的折射率,k随厚度增加而增加并最终趋于块状膜.用此拟合的光学常数代入TFc膜系设计软件计算其透射率,发现与分光光度计测得的透射率吻合较好.

关键词：薄膜、极薄银、椭偏法、光学常数

所属期刊栏目：39

分类号：TN206;O484(光电子技术、激光技术)

资助基金：陕西省自然科学基础研究计划项目2018JM6031;陕西省教育厅重点项目18JS054

在线出版日期：2019-01-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：867-872