飞秒激光直写PMMA制备微流道的工艺技术研究

摘要：

针对目前PMMA微流道加工质量差和效率低的问题,对飞秒激光直写PMMA制备微流道的工艺技术进行了研究.通过实验分析了不同激光参数对微流道的宽度、深度、粗糙度、微流道两侧堆积物火山口高度的影响及变化规律.实验结果表明,当激光扫描速度为20 mm/s时,激光功率为0.5W时,微流道粗糙度较低且变化幅度不明显;激光能量从0.5W增加到0.75 W时,微流道的宽度、深度与激光能量呈线性关系增加;激光功率大于0.5W时,随着激光功率以及加工次数的增加,微流道宽度、深度、粗糙度以及堆积物火山口的高度逐渐增加.经过计算得出,PMMA的烧蚀阈值为0.357 J/cm2.通过优化工艺参数,制备出粗糙度较低、表面光滑、深度为16 μm的微流道芯片.

关键词：飞秒激光、微流道、粗糙度、激光刻蚀、PMMA

所属期刊栏目：39

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金51605240;山东省自然科学基金BS2015ZZ009;泰山学者工程专项经费资助ts201511038;山东省重大关键技术项目资助2016ZDJS02A15;青岛市创业创新领军人才项目资助青科创字[2016]11号

在线出版日期：2018-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：442-446