一种基于激光调制的高精度位移测量方法

刘佳明张志峰王新杰翟玉生蒋留杰

郑州轻工业大学;

摘要：

激光准直技术在位移测量及相关应用中具有重要作用,其核心器件是位置敏感探测器,环境杂散光、电源波动、光电信号处理电路噪声等是影响测量精度的主要因素.针对以上问题,提出一种基于激光调制的高精度位移测量方法.将激光器由直流驱动的连续输出模式改为交流驱动的调制模式输出,优化设计光电探测器微弱光电信号的调理与采集系统,通过编写Labview软件对信号进行频谱分析、带通滤波、均值处理等,对激光连续输出和激光调制输出2种情况分别进行了实验测试与分析,并对比了位移测量的稳定性.实验结果表明:其测量值波动范围从7 μm减少到了2.6 μm,验证了基于激光调制方法的有效性,可以通过滤波更加有效地消除噪声,测量精度提高至3μm以内.

关键词：位移测量、激光准直技术、激光调制、滤波

所属期刊栏目：39

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2018-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：230-234