基于全场干涉测量方法的透镜三维轮廓测量

摘要：

为了满足高精度透镜加工工艺的要求,设计了一套基于全场干涉测量方法的透镜三维轮廓测量系统.已标定的透镜三维轮廓测量系统利用分布式反馈激光二极管对透镜进行波数扫描,对CCD相机采集到的干涉图像依次进行随机采样傅里叶变换和解卷绕算法,最终通过计算得出透镜的三维轮廓数据.实验结果表明:该系统横向和纵向的分辨率均为0.011 3 mm/pixels,深度方向的测量均方根误差为±19.8 nm.系统结构简单、稳定性高,对透镜没有任何接触,不会对透镜表面造成损伤,适用于透镜的高精度轮廓测量.

关键词：光学计量与检测、透镜三维轮廓、激光波数扫描、全场干涉测量

所属期刊栏目：39

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：广州市科技计划项目资助201604016135

在线出版日期：2018-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：220-224