一种球面透镜波前畸变的绝对检测方法

摘要：

球面透镜的透射波前畸变是影响激光驱动器光束质量的重要参数.采用移相干涉仪检测球面透镜波前畸变时,测量结果的精度受限于标准球面镜头和后置平面反射镜的精度.然而,现有的绝对检测技术仅适用于反射元件.为了满足球面透镜波前畸变的高精度检测需求,提出了一种适用于球面透镜透射波前的绝对检测方法:三位置-平移相减法.详细介绍了三位置-平移相减法的原理,对其进行了模拟仿真和实验验证.仿真结果显示:三位置-平移相减法的仿真误差为10 nm~13 nm,达到高精度测量的理论要求;实验结果表明:三位置-平移相减法可以有效地减小前标准球面镜头和后置平面反射镜对测量结果的影响,该方法对球面透镜的加工和装调具有很好的指导意义.

关键词：光学检测、绝对测量、仿真分析、球面透镜

所属期刊栏目：37

分类号：TB96(计量学)

资助基金：中国工程物理研究院发展基金2014B0401080

在线出版日期：2017-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：895-900