湿热环境对Ge基中波减反射膜可靠性的影响

摘要：

采用双面抛光的锗片为基底，镀制中波减反射膜，在湿热环境中分别持续24 h、2×24 h、3×24 h、4×24 h、5×24 h、?、12×24 h之后，研究了湿热环境对Ge基中波减反射膜的光学特性、牢固性等可靠性的影响。实验结果表明：在现有工艺条件下，所镀制的Ge基中波减反射膜经不同时间的湿热环境之后，透过率逐渐变低，并出现CO2和 H2 O的特征吸收峰，吸收峰是减反射膜长时间持续在湿热环境下CO2和 H2 O含量增大所致；湿热环境10×24 h后，边缘膜层开始出现脱落现象，12×24 h后，膜层平均透过率低于85％。

关键词：湿热环境、减反射膜、可靠性、镀膜、吸收峰

分类号：TN305.8(半导体技术)

在线出版日期：2015-03-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：93-97