适用于宽带光的闪耀光栅衍射强度分布规律研究

摘要：

变栅距光栅线位移传感器是一种新型波长编码位移传感器,为进一步提高传感器波长解调的精度和减小光源的体积,提出适用于全工作波段的恒定闪耀角变栅距光栅结构.首先采用经典光学的方法推导出变栅距闪耀光栅衍射强度分布公式,从理论上证明该光栅结构可实现在全工作波段提高变栅距光栅线位移传感器衍射光强.此外,制作出变栅距闪耀光栅样件证实了工艺可行性.在相同的条件下,对一组参数相同的闪耀光栅和矩形槽形光栅进行了衍射光强比对实验,得到变栅距闪耀光栅的衍射光强约为矩形变栅距光栅的衍射光强的1.7倍,并与按此衍射光强分布公式计算的结果一致.

关键词：线位移传感器、变栅距闪耀光栅、衍射强度

所属期刊栏目：34

分类号：TN20;O436.1(光电子技术、激光技术)

资助基金：总装基金60700;中航工业创新基金2009D61864

在线出版日期：2013-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：706-710,722