迭代最小二乘法用于非线性移相器的标定

摘要：

针对移相干涉仪中移相器的非线性会影响测量结果准确性的问题,提出了一种基于迭代最小二乘拟合的标定干涉仪移相器的新方法.对移相器加电压并采集若干幅干涉图后,通过在帧间和帧内迭代开展最小二乘拟合可计算出干涉图间移相值,从而得出了电压值与移相值的对应关系曲线,通过对曲线作非线性拟合并对电压值进行精密调整,完成移相器的精确标定.在改造后的干涉仪上对此标定方法进行验证,与Zygo干涉仪相比,相同元件下两者测量结果之差的RMS值为1.726 nm.该标定方法可以降低高精度面形测量干涉仪对移相器线性度的要求.

关键词：光学检测、干涉测量、移相器标定、非线性

所属期刊栏目：34

分类号：TN206;TH744.3(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家科技重大专项02专项资助课题2009ZX02205

在线出版日期：2013-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：624-628