快速傅里叶变换与泽尼克模式拟合的条纹投影面形恢复算法

摘要：

针对条纹投影偏折法中需要多次迭代进行面形恢复,提出一种结合快速傅里叶变换(FFT)算法与泽尼克(Zernike)模式拟合的算法(FFT-泽尼克).数值仿真结果表明,直接使用泽尼克模式拟合,需要迭代15次,用时1 min以上,而使用FFT-泽尼克算法,迭代5次已收敛到理想精度.在保证计算精度在纳米量级的情况下,计算时间也缩短了近2/3.

关键词：光学检测、FFT-泽尼克模式拟合算法、模式拟合算法、Southwell区域算法、条纹投影偏折法

所属期刊栏目：34

分类号：TNTH744.3

资助基金：国家科技重大专项02专项资助课题2009ZX02205

在线出版日期：2013-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：614-618