超广角大工作面f-theta镜头的光学设计

摘要：

目前国内用于激光标刻机的f-theta镜头的视场角一般小于60..采用望远镜结构,利用视觉放大率增大视场角,得到了超广角90.镜头.该方法具有简洁、可靠、易实现等特点.通过初级像差分析,确定系统的初级结构参数,利用ZEMAX软件优化得到了大工作面为φ285 mm的f-theta镜头,镜头线性畸变误差值不超过1％,在半径为698 μm的圆内,能量集中度为80％,聚焦性能接近衍射极限.

关键词：光学设计、超广角f-theta镜头、初级像差理论、激光打标、ZEMAX

所属期刊栏目：32

分类号：TN202;TH703(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2012-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1083-1087