光学元件表面频谱分布影响因素的分析方法

陈伟

西安科技大学;

摘要：

精密光学系统对光学元件的表面频谱误差的分布提出了控制要求,在加工中如何检测和控制光学元件表面的频谱分布成为一个新的问题.利用功率谱密度对频率的定量化描述功能,对检测数据进行样条插值,在同一极坐标系下计算功率谱密度,求取功率谱密度比值信息,分析小磨具技术的加工工具性能、形状及其运动方式对光学元件表面的频率分布影响.指出在加工中合理地改变加工参数可以快速有效地控制元件表面频谱的分布特征.在670 mm大口径非球面镜加工中做了验证.

关键词：光学检测、小磨具加工(CCOS)、功率谱密度、空间频率

所属期刊栏目：32

分类号：TN205(光电子技术、激光技术)

资助基金：陕西省教育厅专项基金09JK566

在线出版日期：2012-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：967-970