基于无衍射光的表面粗糙度三角测量及其灰色评定方法

摘要：

激光三角法是表面形貌非接触测量中的一种常用方法,在几何测量领域应用广泛.传统的激光三角法采用高斯光束作为指示光源,在机械扫描机构的配合下,通过对被测表面逐点扫描完成表面形貌的测量.采用新型的无衍射光替代传统激光光源,解决了普通高斯光束存在的“焦深”问题,简化了机械结构.并采用基于灰色系统理论的灰色滤波进行表面形貌的分离与评定,克服了原有方法对测量数据样本量和统计特性的依赖,并通过实验表明该系统能够准确地完成表面形貌的三维测量,所提出的灰色评定方法能够比较有效地进行表面形貌的分离与评定.

关键词：表面粗糙度、无衍射光、灰色滤波、激光三角法

所属期刊栏目：32

分类号：TN206;TH74(光电子技术、激光技术)

资助基金：清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室资助项目DL-004

在线出版日期：2012-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：909-912