大粘度复合纳米材料面投影微立体光刻系统的分辨率研究

摘要：

基于数字微反射镜的动态掩膜面投影微立体光刻技术是一种基于快速原型制造思想的新型微细结构加工手段,其系统中常用树脂槽和涂覆装置使得其无法适用于粘度大的固化材料.为实现粘度大的复合纳米材料的固化制造,构建了新型的基于数字微反射镜技术的动态掩膜微立体光刻系统,该系统的加工横向分辨率由系统的光学分辨率与树脂特性共同决定.当单层树脂固化厚度超过临界值时,系统的横向分辨率将降低.根据实验中测量光学系统的分辨率以及树脂的工作曲线,得到本系统的最高横向分辨率可以达到14 μm.

关键词：微立体光刻、分辨率、树脂化学响应、临界调制传递函数

所属期刊栏目：32

分类号：TN204(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G2009CB929300;国家自然科学基金项目60807039/F050105资助课题

在线出版日期：2012-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：867-871