红外探测装置中光谱分光镜的设计与制备

摘要：

在红外探测装置中,光谱分光镜是用来把3 μm～5 μm和8 μm～12 μm 2个波段的光谱分开的零件.介绍了一种在通用镀膜机上制备光谱分光镜的新工艺.在该膜系的设计过程中,把Willey公式引入到对其平均透过率最高值进行估算的过程中,同时针对国产镀膜机控制精度不高的特点,尽量使用规整膜层进行设计.为了进一步提高8 μm～12 μm波段的透过率,在膜系的最外侧引进了一层自行配制的低折射率氟化物材料,制备出了符合技术指标的红外光谱分光镜.

关键词：红外探测装置、红外光谱分光镜、Willey公式、低折射率材料

所属期刊栏目：30

分类号：TN305.8(半导体技术)

在线出版日期：2009-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：659-661