红外用CVD ZnS多晶材料的研制

摘要：

论述了制备红外用CVD ZnS多晶材料的化学气相沉积工艺和热等静压处理工艺.针对CVD ZnS多晶材料具备优良的光学和力学性能,采用化学气相沉积工艺和热等静压处理技术成功研制出大尺寸多晶材料,其最大尺寸达到250 mm×15 mm.测试了CVD ZnS样品的各项光学、力学性能指标.样品的全波段透过率均接近ZnS材料的本征水平,折射指数均匀性优于2 ×10-5,在1.06μm的吸收系数为2×10-3cm-1,抗弯强度达到104 MPa.

关键词：CVD ZnS、化学气相沉积、热等静压处理

所属期刊栏目：29

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2008-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：57-61