低压微位移驱动电路及控制方法

朱纪忠陆忠陈若雷

上海精密科学仪器有限公司;

摘要：

讨论了低压微位移驱动电路及控制方法在光电轮廓仪上的运用.采用低压驱动电路驱动压电陶瓷相移器对参考光束进行相移,从而使仪器质量减轻、体积缩小、成本降低.在运用该电路时,为了解决压电陶瓷低电压区非线性误差大的问题,用PC计算机控制压电陶瓷上所加电压的电压值,由摄像头摄取图像并计算出干涉条纹的间隔,然后由PC计算机修改压电陶瓷上所加的电压值,直至干涉条纹相位差达到要求值.该方法的优点是:可消除压电陶瓷低压区的非线性误差,使得开环电路得到闭环的效果;可降低机械零部件的装配难度.

关键词：干涉光、相移、压电陶瓷、微位移

所属期刊栏目：28

分类号：TN623(电子元件、组件)

在线出版日期：2007-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：354-357