光电位置敏感器件的非线性分析及应用

摘要：

阐述光电位置敏感器件(PSD)的结构、特性和工作原理,并根据PSD的原理和特性分析其产生非线性的几种主要因素.导出PSD的输出信号与光强无关的位置方程.设计出一种低温漂高精度的PSD非线性硬件调制电路.分析了插值算法、神经网络优化法以及解析法等对PSD的非线性进行修正的有效性,并对给出的部分实验数据进行了分析.最后对PSD在光学三角法测量、自动检测以及高精度测量中的应用作了进一步的讨论与展望.

关键词：横向光电效应、光电位置敏感器件、非线性修正、三角测量

所属期刊栏目：27

分类号：TN1(真空电子技术)

资助基金：山东省教育厅资助项目J05C51;山东理工大学校科研和教改项目2004KJM13

在线出版日期：2006-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：400-404