基于ANSYS的二维谐性磁场分析

摘要：

非平衡磁控溅射镀膜机中的磁场分布对镀膜有着重要的影响.介绍一种利用有限元法求解非平衡磁控溅射镀膜机中带电线圈所产生的磁场的方法.根据电磁场理论,推导出求解带电线圈所产生的磁场的计算模型,利用基于有限元法的ANSYS软件对非平衡磁控溅射镀膜机中线圈所产生的磁场分布进行了数值模拟.通过与实测值进行比较,验证了计算模型和计算结果的可靠性.总结了非平衡磁控溅射镀膜机中的磁场分布情况,为优化镀制薄膜设计方案和提高薄膜质量提供了参考依据.

关键词：ANSYS软件、谐性磁场、有限元法

所属期刊栏目：26

分类号：O484.4+1-34(固体物理学)

在线出版日期：2005-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：35-37