基于TFCALC软件的薄膜偏光分束镜的设计

摘要：

根据Macnielle薄膜偏光分束镜的设计原理,利用膜系设计软件对偏光分束镜进行优化设计.总结了偏光镜设计时参考波长、入射角以及膜层数随波长的变化规律,给出了LaK2基底,ZrO2和SiO2为高低膜料的薄膜偏光分束镜优化设计方案,为薄膜偏光分束镜的设计和镀膜工艺提供了参考依据.

关键词：薄膜、软件、优化设计、偏光分束镜

所属期刊栏目：26

分类号：TP311.51;O484.4+1(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2005-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：42-45