一种测量亚像元CCD拼接误差的方法

摘要：

提出一种利用高倍率显微计算机系统(由工具显微镜、CCD摄像头、配有图像采集卡的计算机及相关软件等组成)测量亚像元CCD拼接误差的方法.建立了测量模型,并对实测结果进行了统计分析处理.

关键词：亚像元CCD、拼接、精密测量、误差

所属期刊栏目：24

分类号：TN386.5-34(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：40-42