气浮轴承安装支架的设计与分析

摘要：

在超精密气浮定位平台研究工作中，气浮轴承是基本单元，导轨滑架与气浮轴承的连接采用自准式定位结构，并且闭式导轨中辅助支撑一侧的气浮轴承安装支架串联蝶形弹簧，起到了间隙补偿的作用，有效的补偿了由于温度变化，加工、安装误差造成的气膜间隙变化，降低了加工要求，提高了导轨的性能。

关键词：气浮导轨、气浮轴承、结构设计

分类号：TH13

在线出版日期：2014-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：40-42