准分子激光器用铜电极研究进展

摘要：

文章通过分析准分子激光器用电极的腐蚀机理,重点介绍了铜合金电极在材料设计、组织调控和结构优化等方面的研究进展,并最终指出了准分子激光器用铜电极的改进方向.

关键词：铜合金电极、准分子激光器、腐蚀机理、氟腐蚀行为

所属期刊栏目：53

分类号：TG146.1+1(金属学与热处理)

在线出版日期：2024-02-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：32-37