浅析多晶硅副产物的综合利用与循环经济

摘要：

西门子法多晶硅生产时产生大量的副产物SiCl4等氯硅烷为有毒物质,如不能有效地回收利用将造成资源的极大浪费和严重的环境污染.国内某大型多晶硅生产企业通过采取有效的综合利用措施,将氯硅烷副产物最大限度地转化为生产原料及产品,使多晶硅生产形成了完整的物料闭路循环系统,对促进我国多晶硅企业可持续发展,实现资源的再利用起到了示范作用,符合循环经济的原则.

关键词：多晶硅、副产物、综合利用、循环经济、节能减排

所属期刊栏目：38

分类号：TN304(半导体技术)

在线出版日期：2009-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：49-52