高稳定性高精度单晶硅压力、差压变送器的实现

摘要：

当前高稳定性高精度压力、差压变送器在自动化领域的应用越来越重要,如何发展具备中国自主知识产权的高稳定性高精度变送器是中国本土变送器制造厂商面临着的一个非常严峻的问题.然而通过实践表明可以从超稳型单晶硅原理芯片的选择、超稳型单晶硅硅片的无应力封装、回程误差的消除、静压误差的减弱和补偿、仪表量程比的拓宽、等诸多技术方面的着手和突破,从而打破国外高端变送器对中国市场的垄断.

关键词：单晶硅压力传感器、过载保护、静压补偿

在线出版日期：2019-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-14,24