亚50 nm台阶高度标准物质的可控制备及定值研究

摘要：

纳米台阶高度标准物质可以传递准确、可溯源的纳米高度量值.针对我国缺乏可控的高质量亚50 nm台阶高度标准物质制备技术的问题,提出了基于原子层沉积结合湿法刻蚀的纳米台阶高度标准物质研制方法,通过工艺过程优化实现了台阶高度亚纳米量级精确可控,制备出了最小公称高度仅为5 nm的亚50 nm台阶高度标准物质系列.其定值结果可溯源到米定义波长基准,扩展不确定度不超过2.0 nm,均匀性和稳定性较好,不同测试仪器一致性水平较高.研究结果表明,所研制的纳米台阶高度标准物质可以用于亚50 nm高度量值传递以及多种测量仪器之间量值的比对测量,其产业化批量生产的前景也将为半导体产业提供完善的计量保障.

关键词：台阶高度标准物质、亚50 nm、原子层沉积技术(ALD)、计量学

所属期刊栏目：43

分类号：TH711(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金52175434

在线出版日期：2023-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：86-93