基于F-P标准具的透射物镜焦距测量方法

摘要：

研究了一种基于F-P标准具的透射物镜焦距测量新方法.单色光经F-P标准具后产生的系列圆锥光束作为测量的标准光束,系列圆锥光束圆锥角能从有溯源性的小数重合法准确定出,具备自校准特性.该标准光束通过待测物镜在焦平面处成像为规律已知的同心圆环,由同心圆环计算获得透射物镜焦距值.理论推导了透射物镜焦距测量模型;搭建了测量实验装置,以汞灯绿光作为光源,采用面阵器件实现同心圆环数据采集;重点采用虚拟像元内插与细分技术,结合圆半径回归方法对测量数据进行处理.实验中,结合汞灯两条黄光谱线,用小数重合法确定F-P标准具间隔d,用以焦距的溯源;详细分析了焦距测量不确定度分量并进行了不确定度的计算合成.实验获得,用面阵虚拟像元间距w’作单位的透镜焦距测量结果的相对扩展不确定度为0.031％.讨论了测量实验改进与像元间距w定度的方案设计,可望将焦距值的相对扩展不确定度降低到0.020％以下.

关键词：焦距测量、F-P标准具、虚拟像元细分、溯源、圆半径回归

所属期刊栏目：39

分类号：TG806(公差与技术测量及机械量仪)

资助基金：国家重点研发计划专项2016YFF0200602;国家自然科学基金国基金51504229,51775529;国家重大科学仪器开发专项2016YFF0100505;浙江省公益性技术应用研究计划2015C33052

在线出版日期：2019-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1-8