基于模板匹配算法的压电微位移器位移量原位测量技术

刘东卓永模杨甬英王道档骆永洁

浙江大学;

摘要：

针对压电微位移器的位移量高精度测量需要,基于模板匹配算法提出了一种新颖的位移量原位测量方法.利用改进型的Twyman-Green干涉系统对压电微位移器的电压--位移特性曲线进行原位测量,根据模板匹配算法实时计算干涉条纹的移动量,进而得到对应的压电微位移量,并对相关实验测量结果进行了分析与验证.结果表明,该测量技术具有较高的测量效率以及较好的随机噪声抑制能力,其测量精度和分辨率均可达到纳米量级.该方法属于非接触式测量,具有较高的可靠性,在微位移的高精度原位自动测量中具有较好的实用性.

关键词：微位移测量、模板匹配、泰曼--格林干涉系统、原位测量

所属期刊栏目：31

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

在线出版日期：2010-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：530-535