锥光全息系统测量的误差因素分析及提高测量分辨力的方法

摘要：

用锥光全息非接触式测量系统进行距离测量的精度会受到系统自身的原理结构和光学元件布局的影响,重点分析光路中的核心元件偏光晶体等器件自身的固有属性和相对位置对测量结果的影响,并讨论了相应的调整和补偿措施.在理论和实验结合下,确定各个仿真参数,通过仿真的变化曲线深入分析了引起相位误差和设定的绝对相位零点偏移的原因,并讨论了提高测量系统精度的相位差放大方法,对优化设计和调试锥光全息测试系统及提高测量系统精度具有重要意义.

关键词：锥光全息、非接触测量、相位差、偏光晶体

所属期刊栏目：30

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2009-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1100-1104